浮遊型プローブによるプロセスプラズマ分析装置の開発

研究課題

体系的課題番号	JPMJSN10A4
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJSN10A4
研究責任者	進藤春雄東海大学, 情報理工学部, 教授
研究期間 (年度)	2010 – 2011
概要	本課題では、集積回路(LSI)プロセスの中心技術である半導体製造プラズマ装置、ロケットスラスタープラズマさらには生物生体プロセスプラズマなど広範な応用プラズマの分析技術として、電子放出可能な浮遊型プローブ法を提案し、その原理特許を取得済みの技術をもとに、プラズマ電子エネルギー分析、電子・イオン密度解析、プラズマポテンシャル分布などの総合的分析を可能とするプラズマ分析装置プロトタイプの開発を目指します。