FIB 光イオン化ナノ質量イメージング装置の実用化開発

研究課題

体系的番号	JPMJSN10C2
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJSN10C2
企業責任者	(株)トヤマ
研究期間 (年度)	2010 – 2012
概要	本事業「機器開発プログラム」により開発した、ナノスケールでの観察・加工が可能で有機物、無機物共に質量分析イメージングできる装置を、大気汚染微粒子やナノスケール構造を有する有機ポリマー材料、有機薄膜太陽電池、鉄鋼粒界分析などに適用し、ユーザーと緊密に連携して実用性を実証します。既存のプロトタイプ機を改良しつつ実用化に必要な専用高輝度レーザー光源の安定化とスペクトルデータベース、自動測定機能などユーザーインターフェースを拡充し、市販可能な装置を完成させます。