高温環境下におけるマイクロ構造体の高精度力学特性計測技術の開発

研究課題

研究責任者	安藤妙子立命館大学, 理工学部, 准教授
研究期間 (年度)	2010
概要	研究課題では、マイクロ構造体を対象として力学特性の評価が可能な試験チップと局所加熱技術を開発・提案することを目標とした。研究期間内において、寸法がマイクロメートルオーダのマイクロ構造体の引張試験を実現するシリコン製MEMSデバイスを設計し、実際に試作を行った。また同時に、赤外線を利用した非接触加熱装置を導入し、マイクロ領域の局所加熱により、対象物を1000度まで加熱できることを確認した。今後は高温下における高精度引張試験に向け、局所加熱装置と別途開発した計測装置を組み合わせ、高温引張試験機として活用できるようにし、その後、実際のマイクロ構造体の引張試験による機械的特性評価を様々な熱環境下で実施する予定である。