| 概要 | 従来の電子顕微鏡では鏡筒に多くの貫通口をOリングで封じる構造によって絞りや試料を移動する構造であるため、真空度と解像度に限界を生じている。電子顕微鏡の試料と可動絞りの移動にピエゾアクチュエータを用いた位置移動用駆動機構を開発し、駆動機構、制御電源、制御ソフトによって実機性能検証で、操作可能な最小移動ステップ500nm 以下、最大移動スピード100μm/sec以上,移動停止直後から一定時間毎のドリフト量100nm/h 以下を達成する。開発装置は電子顕微鏡像に影響を与えることなく、平滑に駆動し、かつ目標値を達成する精度を得て目標を達成している。今回、透過型、走査型の各一機種でコントローラーとの接続および試料交換時の着脱装置を製作し、性能検証と耐久試験を試みた。
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