スペクトル分析も可能な非接触3次元動画顕微鏡の開発

研究課題

研究責任者	塩田達俊長岡技術科学大学, 工学部, 准教授
研究期間 (年度)	2010
概要	物体や生体の内部構造と材料分析を同時にかつ高速に非接触計測できる計測器が、医療・製品検査などの分野から必要とされている。申請者は、これまでに光学干渉計を利用した研究で、20μmの分解能で1mm角の2次元断層画像をCCDで一括取得できることを実証した。さらに、金属薄膜を蒸着した光共振器を測定対象として内部領域毎のスペクトル情報を分離して得ることにも成功した。本課題では、従来の画像取得時間30 msの近赤外用CCDを用いて、1 μmの空間位置分解能の形状計測を確認した。また、共振器試料を用いて、多重反射の各反射光が持つ光電界スペクトルを分離して計測することに成功した。