1. 前のページに戻る

サファイアデバイスの機能表面加工

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 探索タイプ

研究責任者 松村 隆  東京電機大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度) 2010
概要化学プラント、海洋・宇宙開発の分野など極限環境において、サファイアは分析機器のデバイス材料としてニーズが高まりつつある。本研究は、サファイアの微細切削技術により表面にマイクロオーダの微細構造を加工し、表面機能を制御することを目的としている。まず、エンドミル切削によりサファイアの表面に深さ10μm、幅125μmの微細構造を加工する技術を開発した。また、一定間隔で加工した溝の微細構造によって、表面のぬれ性が異方性を有することを確認した。本研究では、サファイア表面の微細構造を切削で加工でき、表面機能を制御できることを示した。この成果は、サファイアの高機能デバイスや材料開発用の基板に応用できる。

URL: 

JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

サービス概要 よくある質問 利用規約

Powered by NII jst