| 研究責任者 |
松本 潔 東京大学, IRT研究機構, 教授
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| 研究期間 (年度) |
2010 – 2011
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| 概要 | 透明なパリレン薄膜をシリコンオイルに直接蒸着してカプセル化する技術に関し、これを用いた液体光学デバイスを対象として、成膜メカニズムの解明、液体レンズの光学特性の評価、液体レンズの可変焦点駆動特性の評価を行った。成膜過程を直接観察する手法を開発し、液滴の形状変化から液体状のパリレン薄膜の表面張力は700μN/mm程度であることがわかった。また液体上のパリレン膜の平坦度は、平均面粗さで2.37nmであり、ガラス基板上での成膜時と比べても遜色はなかった。試作した1mm径の可変焦点液体レンズにおいて、レンズ形状の理想参照曲面からのずれは2λ以下(λは計測波長、650nm)であり、また駆動可能な周波数帯域は10Hz以上であった。
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