接触対象の材質判別を可能とする半導体超触覚センサの開発

研究課題

研究責任者	高尾英邦香川大学, 学内共同利用施設等, 准教授
研究期間 (年度)	2010
概要	本研究では、接触対象の材質判別を可能とする半導体超触覚センサの開発にむけて、高感度・高性能を維持しつつもロバスト性を確保する新しいデバイス構造を開発した。感度とロバスト性は常に相反する要求であり、両性能のトレードオフでなくブレークスルーを実現するための技術として、空間的に分割したポリマー材料を用いる新しい触覚センサ構造を開発した。半導体のセンサ薄膜表面にスピンコート型の感光性薄膜樹脂(SU-8)を表面保護膜としてコーティングを施し、これを表面保護膜とすることで、柔軟なセンサ構造の柔軟性を維持しつつ、画素毎に保護膜が独立して分割した構造とすることで、高い空間解像度と感度を両立する技術を開発した。