微小コイルを用いた磁気マイクロアクチュエータの開発

研究課題

研究責任者	左近拓男秋田大学, 工学資源学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2010
概要	ナノメートル単位の微小変位機構をもつマイクロアクチュエータの開発を目的とした。(1)1.8 mm内径の微小コイルを用いたターフェノル-D超磁歪アクチュエータを作製し、交流パルス磁場での動作を確認した。(2)微小変位のための、定常磁場用の永久磁石と、超磁歪材料の磁歪変位用の交流磁場コイルを組み合わせた小型磁気回路を製作し、それにターフェノル-D超磁歪材料を組み込むことで高応力のアクチュエータを作成し、ナノメートルから数μmまでの変位を得ることが出来た。