新規反応性ガスを用いた水酸化物薄膜のスパッタ成膜技術の開発

研究課題

研究責任者	阿部良夫北見工業大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	2010
概要	反応ガスとして過酸化水素を適用したスパッタ法により、水酸化物薄膜を作製することを目的とした。市販の過酸化水素水を液体原料として用い、これから蒸発した過酸化水素と水蒸気の混合ガスをスパッタチャンバに供給した。金属ZrおよびNiターゲットをこの混合ガス中で反応性スパッタすることで、水和酸化ジルコニウム(ZrO2・nH2O)薄膜とオキシ水酸化ニッケル(NiOOH)薄膜を作製した。また、作製した試料の電気化学的特性を評価し、ZrO2・nH2O薄膜のイオン伝導性、およびNiOOH薄膜のエレクトロクロミック特性を確認した。