| 研究責任者 |
田中 成泰 名古屋大学, エコトピア科学研究所, 准教授
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| 研究期間 (年度) |
2010
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| 概要 | セル化した多結晶シリコンの欠陥は太陽電池の効率低下の要因となるもので欠陥の可視化による正確な検査をおこなうことは急務である。このような背景のもと開発の現場でルーチンワークとして用いることができる太陽電池セルの評価技術の開発を進めた。走査型透過電子顕微鏡の付加装置として開発を進め、当初目標の試料サイズ 5cm×5cm、空間分解能50μmを達成することができた。試料の取り付けには改善の余地があるが、真空中に入れてしまえば10分以内に像が得られるようになり、目標どおりの迅速な観察ができるようになった。今後は、本手法を改良してさらに精度よく可視化する方法の開発を進めるとともに、太陽電池セルメーカーや電子顕微鏡製造メーカーに本手法をアピールしていきたい。
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