テラヘルツ・エリプソメトリーを用いた不透明薄膜の膜厚計測

研究課題

研究責任者	安井武史大阪大学, 基礎工学研究科, 助教
研究期間 (年度)	2010
概要	偏光解析法(エリプソメトリー)は、透明薄膜の膜厚検査に広く用いられているが、近年、自動車塗装膜を始めとした分野において不透明薄膜の高品質化や高機能化が進み、不透明薄膜を非接触リモートで分析する手段が強く求められている。本研究では、自由空間を伝搬し不透明物質に対して良好な透過性を有するTHz波に着目し、連続発振THz波 (CW-THz波) のリアルタイム位相計測に基づいたCW-THzエリプソメトリーを開発した。さらに、不透明薄膜の標準サンプル(シリコン基板)を用いて基本特性評価を行い、1μmの精度で膜厚が決定できることを確認した。開発装置は、非接触リモート計測とリアルタイム計測を特徴としており、製造ライン工程での全数検査への導入が期待される。