傾斜鏡型浮遊帯域法による大口径化技術の分解溶融型化合物への展開

研究課題

研究責任者	綿打敏司山梨大学, 医学工学総合研究部, 准教授
研究期間 (年度)	2010
概要	シリコン等工業化されているバルク単結晶材料は、調和溶融型化合物が圧倒的に多い。これは、調和溶融型であれば大口径化が容易な引き上げ法やブリッジマン法が適用できるためである。こうした手法での育成困難な分解溶融化合物単結晶の場合、浮遊帯域溶融(FZ)法など育成可能な手法では大口径化が困難なため工業化されていない。本研究では、調和溶融するルチル(酸化チタン)単結晶の大型化に有功であった独自技術の傾斜鏡型FZ法を分解溶融型化合物単結晶に適用し、その大口径化を目指した。従来法で6mmφが限界であったランタン系銅酸化物超伝導体を目標に極めて近い11mmφにまで大口径化した。一層の大口径化に必要な改善点についても明確化できた。