テラヘルツ波を用いたアモルファス薄膜のキャリア輸送特性非破壊評価技術の開発
体系的課題番号 |
JPMJSK1125 |
DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJSK1125 |
研究責任者 |
山下 将嗣 独立行政法人理化学研究所, 基幹研究所, 研究員
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研究期間 (年度) |
2011 – 2013
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概要 | アモルファス薄膜は、フレキシブル・プリンテッドを特徴とする次世代エレクトロニクス産業を支える材料として期待され、新材料合成やプロセス技術の開発によるキャリア輸送特性向上が求められています。本研究では、アモルファス薄膜の研究開発加速化に向けて、テラヘルツ分光の高感度化と広帯域分光解析手法の確立より、アモルファス薄膜のキャリア輸送特性を非破壊で定量評価する技術開発に取り組みます。これにより、この分野の国際競争力強化に貢献することを目指します。
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研究領域 | テラヘルツ波新時代を切り拓く革新的基盤技術の創出 |