新型ロールコータによるインライン式フィルムプロセスの研究開発

研究課題

研究責任者	菅井秀郎中部大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	2011
概要	高密度のマイクロ波プラズマを組み込んだコンパクトな新しいロールコータを構築し、これを用いてタッチパネル用のITO/PET積層フィルムをインラインで作製する革新技術の実用化研究をおこなった。先ずPETフィルム表面の脆弱層をプラズマエッチングする独自技術を開発し、従来の中間接着層を用いることなく、ITO層との強い密着力を獲得し、耐久性を向上させることができた。さらに、大気に取り出すことなくITO膜をプラズマで加熱し結晶化を促進、その表面抵抗を下げることに成功した。このように、従来のオフライン式に比べて今回開発したインライン式は大幅なコストダウン・生産性向上およびコンパクト化が可能であり、実用化の見通しが得られた。