ロール・ツー・ロール生産方式のための高精度ロール検査技術の要素開発

研究課題

研究責任者	新田勇新潟大学, 自然科学系(工学部), 教授
研究期間 (年度)	2011
概要	次世代の生産方式であるロール・ツー・ロール生産方式に使われるロール表面は、高精度に仕上げられており、その表面に傷などがあってはならない。しかし、円筒形状であることから既存の検査装置ではその全面観察に長時間を要し、現実的には円筒表面上の傷を発見することは難しい。これに対して申請者がこれまでに開発した広視野レーザ顕微鏡は広い円筒面の観察を短時間で行うことができる特長を有している。直径8mmで長さ15mmの円筒面に集束イオンビーム加工でサブミクロンサイズの凹みパターンを作製し、広視野レーザ顕微鏡で観察したところ、短時間で傷に見立てた凹みパターンの存在とその位置を特定することができた。