| 概要 | 本研究は、プラズマ熱処理技術の改良に関するものである。処理品の周囲に陰極のかご状スクリーンを設置し、このスクリーン上でプラズマを発生させるアクティブスクリーンプラズマ窒化技術を応用している。本研究では基材として低合金鋼SACM645を選び、チタン製スクリーンを用いてアクティブスクリーンプラズマ窒化を行った。処理ガスの組成を窒素:水素=1:3,1:1,3:1と変化させた。処理後の試料について、外観観察、表面のX線回折試験、断面の組織観察、硬さ分布測定および摩擦・摩耗試験を行い、試料表面に窒化チタンと鉄窒化物のハイブリッド硬質皮膜を形成させることが可能であることがわかった。今後はこの成果を学会発表により公表し、企業などとの共同研究につなげていきたい。
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