透明ディスプレイの実現を目指した酸化物半導体素子の開発

研究課題

研究責任者	浦岡行治奈良先端科学技術大学院大学, 物質創成科学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2011
概要	透明ディスプレイの実現を目指して、酸化亜鉛を主原料とする酸化物半導体を用いた薄膜トランジスタの研究を行った。スパッタ法、原子層堆積法、スピンコート法など様々な薄膜堆積方法を用いて形成した薄膜トランジスタに、高圧水蒸気処理やレーザ照射によって、高性能化と高信頼性化を目指した。その結果、ガラス基板やプラスチック基板の上に、高移動度の透明な薄膜トランジスタを形成することに成功した。一方、DCストレスやパルスストレスに対する信頼性劣化機構を解明し、モデル化するとともに素子の信頼性を向上させた。本研究の成果は、次世代情報端末を実現する上で、有用な知見となる。