マイクロアンカ接合による中間層レスコーテッド工具の開発

研究課題

研究責任者	加藤昌彦広島大学, 工学部第一類(機械システム工学系), 准教授
研究期間 (年度)	2011
概要	切削用工具においては、寿命をのばすために表面に硬質薄膜が成膜されることがある。一般に、硬質薄膜と基材との密着性は良くないので、多大なコストをかけて中間層が付与されている。本研究では、研究者らが新たに開発したナノワイヤによるアンカー効果を利用して、中間層レスコーテッド工具への適用を目指し研究を行った。種々の条件でワイヤを形成させた基材にSiC薄膜をスパッタコーティングし、薄膜の密着力を定量的に評価した。その結果、ナノワイヤ形成によりSiC薄膜の密着力は大幅に向上することがわかった。