TEM内疲労試験その場観察を目的としたMEMS微小共振デバイスの開発

研究課題

研究責任者	泉隼人名古屋工業大学, 大学院工学研究科, 助教
研究期間 (年度)	2011
概要	代表的なMEMS構造材であるシリコンの疲労挙動およびメカニズムを明らかにするため、透過電子顕微鏡内で疲労試験可能な微小MEMS共振デバイスの開発を目指した。それを実現する試験デバイスの機械・共振特性を有限要素法解析により確認した。これに基づいてデバイス設計を行い、実際にマイクロマシニングにより作製した。TEM内でデバイスの駆動制御および性能評価するため、ピエゾアクチュエータと荷重評価用ロードセルを実装できるTEM試料ホルダとデバイスドライバの開発を併せて行った。今後、TEM内で疲労試験を実施し、疲労サイクル中のダイナミックな挙動の高分解能観察および疲労メカニズムを解明する。