マイクロモータ用超多周期積層構造等方性厚膜磁石の開発

研究課題

研究責任者	福永博俊長崎大学, 工学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2011
概要	我々は、超小型モータを開発するために、Pulsed Laser Deposition(PLD)法による超多周期積層型Nd-Fe-B/α-Feナノコンポジット厚膜磁石作製法を開発してきた。本研究開発課題では、厚膜磁石のマイクロモータへの搭載を視野に入れ、保磁力400 kA/m以上、残留磁化 0.9±0.1[T]の磁気特性を有する厚膜磁石を再現性良く作製する技術を開発することを目的とした。Nd-Fe-B単相磁石膜の作製プロセスで明らかになった、パルスレーザ照射条件・成膜条件と得られる厚膜磁石の磁気特性の関係を参考に、Nd-Fe-B/α-Fe複合ターゲットへのレーザ照射条件、磁石膜堆積条件等を改善するとともに、Nd-Fe-B/α-Fe積層周期を制御した結果、作製厚膜磁石の磁気特性のバラツキを抑制しつつ、目標とする磁気特性を達成する成膜法を開発することができた。