集束イオンビーム(FIB)照射誘起二次元強磁性体ナノドットメディアの実用化検討

研究課題

研究責任者	松井利之大阪府立大学, 21世紀科学研究機構, 教授
研究期間 (年度)	2011
概要	FeRhにおける高エネルギーイオンビーム照射誘起強磁性現象に注目し、集束イオンビーム装置の描画機能を用いた、短時間、大面積のナノスケール磁気ドットパターンの作製方法に関する検討を行った。結果的には目標とした1Tbit/inch^2 程度の密度に相当する磁気ドットパターンの作製までには至らなかったものの、短時間、大面積に多様な磁気パターンを描画する技術の開発に成功した。更なるイオン照射条件の最適化、また熱処理を加えた複合プロセスの開発によって、パターンの微細化と磁気パターンの多様化など、新たな微細磁気イメージの描画技術へと発展させる技術シーズを展開することができた。