1. 前のページに戻る

粘性率の超高速・非接触モニタリングを可能とする光学式マイクロセンサーの開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 探索タイプ

研究責任者 田口 良広  慶應義塾大学, 理工学部(矢上), 講師
研究期間 (年度) 2011
概要本研究では、これまで誰も達成することができなかった非接触かつリアルタイムなインプロセス粘性率モニタリングの実現と実用化を目指し、測定精度を飛躍的に向上させる新しいマイクロチップの開発を行った。本提案手法は、フォトニッククリスタルファイバー(PCF)と微小レンズファイバー(CLF)の2種類の光学コンポーネントが微細加工技術によって形成されたマイクロトレンチにパッケージングされ、短パルスによって励起された表面波の形状を光学的にセンシングすることで超高速な粘性率センシングを可能とする。本提案では3層SOIを用いたファブリケーションプロセスを提案し、極めて高いアライメント精度を達成した。

URL: 

JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

サービス概要 よくある質問 利用規約

Powered by NII jst