粘性率の超高速・非接触モニタリングを可能とする光学式マイクロセンサーの開発

研究課題

研究責任者	田口良広慶應義塾大学, 理工学部(矢上), 講師
研究期間 (年度)	2011
概要	本研究では、これまで誰も達成することができなかった非接触かつリアルタイムなインプロセス粘性率モニタリングの実現と実用化を目指し、測定精度を飛躍的に向上させる新しいマイクロチップの開発を行った。本提案手法は、フォトニッククリスタルファイバー(PCF)と微小レンズファイバー(CLF)の2種類の光学コンポーネントが微細加工技術によって形成されたマイクロトレンチにパッケージングされ、短パルスによって励起された表面波の形状を光学的にセンシングすることで超高速な粘性率センシングを可能とする。本提案では3層SOIを用いたファブリケーションプロセスを提案し、極めて高いアライメント精度を達成した。