静電駆動小型アクチュエータを用いた流体摩擦力計測技術の確立

研究課題

研究責任者	寺島修名古屋大学, 工学研究科, 助教
研究期間 (年度)	2011
概要	静電駆動小型アクチュエータ(受感部寸法:100μm×100μm)を用いた流体摩擦力計測を行った。センサは可動部電極・固定部電極・ばねで構成されており、受感部はフローティングエレメントとなっている。さらに、可動部と固定部は櫛歯型構造を有するコンデンサとなっており、流体摩擦力による受感部の変位はこのコンデンサの静電容量の変化により検出された。流体摩擦力発生環境下でセンサの性能評価を行った結果、理論解に倣い、流体摩擦力の大きさに線形比例した出力が得られた。これより、静電駆動型小型アクチュエータによる流体摩擦力計測の可能性が見出された。