合成ホログラムを原器とした自由曲面金型の形状計測・検査装置開発

研究課題

研究責任者	茨田大輔宇都宮大学, 大学院工学研究科, 助教
研究期間 (年度)	2011
概要	本研究課題では、工業部品や光学部品の表面形状誤差を大面積・高精度で高速に測定する方法を開発する。表面形状誤差は、被測定物体をレーザー光で照明したときの反射光波と原器となる計算機合成ホログラムから再生される光波を干渉させると、干渉縞として現れる。その干渉縞を解析すると、形状誤差を評価することができる。従来手法では、大面積を一度に計測するためには、それに対応した大きさをもつ原器を準備する必要がある。本研究では、原器として計算機合成ホログラムを用い、原器ホログラムの面積を広げずに測定範囲を大面積化を検討する。その方法として斜入射レーザー干渉計を用い、原器ホログラムが有用であることを示す。