環境調和型薄膜コーティングによる超硬工具の長寿命化

研究課題

研究責任者	和泉亮九州工業大学, 工学研究院, 教授
研究期間 (年度)	2011
概要	現在、銅やSUS薄板などのプレス抜き金型のパンチ等の工具は、超硬合金が主流であり、耐摩耗性向上の為に超硬合金へのコートが一般的に行われている。硬質炭素膜(DLC)、硬質セラミック薄膜、等のコートが行われているが、価格が高く、装置も高価なものである。本課題では、安価で安全な手法と原料を用いた、シリコン炭窒化膜(SiCN)コートを行い、超硬工具の長寿命化を実現するものである。SiCN膜堆積には環境に配慮した原料利用効率の高いHot-Wire CVD(HWCVD)を用いて、安価で非爆発原料であるヘキサメチルジシラザン(HMDS)を使用する。本課題により超硬工具の長寿命化の実現、価格の低減や資源保護が可能となる。