光加入者網大容量化に必須なチューナブル波長選択フィルタチップの開発

研究課題

研究責任者	依田秀彦宇都宮大学, 工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2011
概要	チューナブル波長選択フィルタを実用化することを目指して、3つの達成目標を設けて試験を実施した: (i)最大透過率を全ての制御温度に対して70%以上; (ii)応答速度を2秒以下、消費電力を0.3W以下; (iii)透過スペクトル形状を再現性よくBox-likeガウシアン形にする。試験結果: (i)では、フィルタ加熱用ヒータ膜形状を見直してフィルタチップの面内温度分布均一化を実現し、成膜ガスを変更することで a-Siフィルタ薄膜の吸収を低減した。 (ii)では、フィルタチップガラス基板への局部薄型加工技術を新しく開発し、応答速度と消費電力を試験実施前の半分に改善した。 (iii)では、目標到達にむけて、in-situ光計測の光量安定性向上と、成膜シーケンスの半自動化を実施した。