窒化アルミニウムの電気伝導度制御を可能にする工業的な製造方法の開発

研究課題

研究責任者	楠瀬尚史香川大学, 工学部, 准教授
研究期間 (年度)	2011
概要	先行研究において、導電性AlNを作製するために、AlNに助剤として希土類酸化物を添加し、1900°C以上の高温と炭素還元雰囲気の強い条件で、12時間の熱処理時間を必要とした。これは、導電経路となる粒界相が最初は絶縁体の希土類アルミネート相であるが、導電性のある希土類酸炭化物に変化させるために、炭素を焼結体表面から内部の粒界に拡散させることが必要であったためである。本研究では、助剤成分としてCeO2を用いることにより、出発原料としてカーボン粉末を添加してもAlNの緻密化が進行することを発見し、原料としてAlN、Y2O3、CeO2、Cを用いることにより、低温・短時間で希土類酸炭化物粒界相を有する導電性AlN焼結体の作製に成功した。