光入射位置と入射角度を同時に検出可能とする光センサデバイスの開発

研究課題

研究責任者	大谷幸三広島工業大学, 情報学部, 准教授
研究期間 (年度)	2011
概要	本課題では、光位置検出精度0.002mm、光角度検出精度0.05度を有する光センサデバイスを、単一のチップとして開発することを目標とした。本チップはフォトセンサ素子に光透過性があることに着目した多層構造を有しており、申請期間内に、5 x 5素子/層の光センサデバイスに対し、シミュレーション、設計、製作までを完了することができ、達成度は80%程度である。残り20%はチップの性能評価であり、これについては現在行っている段階である。特許に関しては、予定通り本チップの基本特許を出願した。今後は、チップ製作に関するプロセス特許を出願する予定である。また、性能評価が完了した段階で設計の見直し、もしくは3次元計測用センサとしてのシステム化を進めていく予定である。