プラズマ制御による多接合PVの効率向上に向けた広帯域透明導電膜の低抵抗化

研究課題

研究責任者	佐藤直幸茨城大学, 理工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2011
概要	効率40%を超える多接合太陽電池を実現するには、紫外光から近赤外光に亘り透明で15Ω/□以下なる広帯域の透明導電膜が必須である。本研究開発では、亜鉛-酸素の混合プラズマの特性を高度に制御することにより、アンドープの酸化亜鉛材料でも広帯域(370～2100nm)で高い光透過率(> 84%平均)を満たし、再現性を高めて15Ω/□以下までの低抵抗化に成功した。更に安定した高密度の混合プラズマを生成し、プラズマと基板の間の電位差を制御すれば(特開2010-261084)、試料基板を衝撃するイオンのエネルギーを適切に保てるので、酸化亜鉛の結晶性が高まり移動度が向上して近赤外領域でも更なる抵抗の減少が期待できる。