超臨界流体コンバージョン反応を利用したワンリアクターによる化合物半導体太陽電池作製プロセス

研究課題

研究責任者	苫居高明東北大学, 多元物質科学研究所, 助教
研究期間 (年度)	2011
概要	本提案では、CIS太陽電池の積層構造作製プロセスの"All超臨界流体プロセス化"を目標とした。本研究開発において、既存の超臨界流体製膜法と、本研究チームにより開発された超臨界流体コンバージョン法を組み合わせることで、本提案で主目標に掲げるバッファ層(CdS)/吸収層(CuInSe2)/Mo金属電極積層構造の、超臨界流体プロセスによる、ワンリアクター作製を実現した。本成果は、従来のCIGS系太陽電池の高コストの一因である乾式・湿式混在プロセスからの脱却を可能せしめるものであり、微細構造・プロセスの最適化により、高変換効率CIGS太陽電池の低コスト作製プロセスの創成が期待される。