アモルファスおよびナノコンポジット構造を有する低フリクション炭素系膜の開発

研究課題

研究責任者	長谷川裕之佐賀大学, 大学院工学系研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2011
概要	本課題では、放電プラズマ焼結法により作製した炭素と金属を含む焼結体を用いて、プラズマ環境下において炭素系膜を合成するともに、結合状態・微細構造・摺動試験・ぬれ性評価を実施した。焼結体作製では、試料は十分な密度を有しており、膜作製の原料となるターゲット材として適用することが可能となり、合成した膜試料においては、アモルファスおよびナノコンポジット構造を持つ炭素系膜が完成した。炭素系膜のダイヤモンド成分は、試作時の20%から50%程度まで増加し、摺動試験において摩擦係数と摩耗量が低減することを明らかにした。今後、技術課題として残されている膜の緻密性、密着性の改善、耐酸化性評価を進める。