産学官連携で行うマイクロ工具3軸位置の可視化と,超精密加工機を利用した実証実験

研究課題

研究責任者	鈴木伸哉富山高等専門学校, その他部局等, その他
研究期間 (年度)	2011
概要	本研究では、マイクロ工具を底刃側から撮影する光学系と、底刃表面に縞模様を投影する光学系を備え、従来は検出が困難であった表面あらさの小さいマイクロ工具においても、位置検出を可能にする刃先検出器の開発を行った。20回の繰り返し検出精度は、目標0.1μm以下に対し、σ≦0.028μmを得た。また、超精密加工機を用いた加工実験においても、溝深さの誤差の目標1μm以下を達成することができた。今後の展開としては、さらに多くの工具による溝加工の実証実験や、実際の加工現場での使い勝手をさらに考慮したソフトウェア開発を行う。