硼素を添加した窒化チタン薄膜のナノ構造制御による精密金型の長寿命設計

研究課題

研究責任者	花木聡兵庫県立大学, 大学院工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2011
概要	本課題では、電子ビーム蒸着により薄膜を堆積させながら同時にイオンビーム照射を援用するイオンビーム援用蒸着法を用い、高硬質と密着性を両立するTiN薄膜のコーティング技術を開発した。成膜過程において、少量のBを添加することにより薄膜のナノ構造を制御し、密着性を維持したまま硬度を大幅に上昇させた。さらに、サブミクロンオーダーの精度が要求される精密金型へ本技術を適用することにより金型の長寿命化および信頼性の向上が可能であることを示した。今後、本コーティング技術を工具鋼等に適用することにより、高価で加工が困難な超硬合金を用いることなく精密金型を作製できる可能性がある。