カーボンナノチューブの樹脂基板上へのプラズマ低温合成技術の開発

研究課題

研究責任者	永津雅章静岡大学, 創造科学技術大学院, 教授
研究期間 (年度)	2011
概要	本研究では、従来用いられている高温下でのカーボンナノチューブ(CNT)合成技術とは大きく異なり、非熱平衡プラズマのイオンエネルギー制御を利用した新たなCNTの低温合成技術の開発を行った。本研究において、ナノ触媒微粒子の低圧マイクロ波励起プラズマを用いたイオン衝撃による前処理、およびメタンガスを添加したプラズマ処理を行うことによって、基板温度200度以下での多層CNTの直線配向成長を実現した。さらにCNTのプラズマ低温合成技術の実用化を目指し、非耐熱性であるポリイミド樹脂を用いたCNTの低温成長実験を行い、CNTの合成に成功した。これらの成果は学術論文および国際会議、国内学会等において発表するとともに、新聞においても発表を行った。