シリコン系青色発光部材の低温プロセスでの高輝度化の検討

研究課題

研究責任者	花泉修群馬大学, 大学院工学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2011
概要	本課題では、SiとSiO2からなるSi系青色発光部材に対し、(A)Cイオン注入による青色発光センターの追加および(B)表面へのフォトニック結晶構造の付与の二つの工夫を施し、実用化への大きなネックである1200°C前後という高温でのアニールをせずにより低温のアニールで強い青色発光を得ることを目標とした。その結果、(A)により700°Cという比較的低温のアニールで発光を得ることに成功した。また、(B)による試料と空気の界面での反射抑制効果を確認し、光取り出し効率改善に向けた知見を得ることができた。今後、更に低温プロセス化することができれば、熱に弱い部材との集積化も可能となり、この発光材料を適用できる応用デバイスの範囲が拡大されるものと思われる。