液状微粒子を利用し作製した希土類系厚膜磁石の超小型モータへの応用

研究課題

研究責任者	中野正基長崎大学, 工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2011
概要	本研究では、希土類系磁石であるNd-Fe-B系ターゲット表面にアーク放電を生じさせ、それより飛び出す「数ミクロン径の液状微粒子」を利用した高速成膜下での「Nd-Fe-B系厚膜磁石」の作製技術を用いる。その際、厚膜磁石の超小型モータへの搭載実現を目指し、磁気特性の改善を図る。具体的には、「応用に際し最も重要な特性である(BH)max」の向上に対し、(1) 「成膜直後のアモルファス試料に施す熱処理の極短時間化ならびに第4元素の微量添加による粒成長の抑制」、(2)「液状微粒子の形態・微細構造への影響が期待されるアーク放電の条件制御(コンデンサー容量・印加電圧)」を試み、研究当初の目標値である10 MGOe程度の(BH)maxを有するNd-Fe-B系厚膜磁石を実現した。