電動非接触チャックの吸引力制御システムに関する開発研究

研究課題

研究責任者	黎しん東京工業大学, 精密工学研究所, 助教
研究期間 (年度)	2011
概要	複数の電動非接触チャックを用いてワークを非接触で把持搬送するとき、各チャックの吸引力にばらつきが存在するため、ワークが装置と局部的な接触が生じる恐れがある。そこで、本研究の目標はフィードバック制御により各チャックの吸引力を均一に制御することである。まず、チャック内の圧力分布を実験により調べ、負圧分布と吸引力の理論計算式を導出した。これを踏まえ、吸引力を推定するω‐P法を提案し、さらに、ω‐P法の改良としてP‐P法を提案した。最後に、4つのチャックから構成される非接触把持搬送装置を製作した。P‐P法を用いる吸引力フィードバック制御系により4つのチャックの吸引力を均一(設定値との誤差±5%以内)に制御できた。今後、本研究の成果を大型液晶ガラス基板の非接触把持搬送装置の開発に応用することを予定している。