MEMS技術を用いた医療用ラマン散乱式小型ガスセンサ

研究課題

研究責任者	下川房男香川大学, 工学部知能機械システム工学科, 教授
研究期間 (年度)	2011
概要	本研究は、ラマン散乱式のファイバ型ガスセンサのプロトタイプを製作し、センサ小型化の実現性、並びにその有用性の検証実験(従来の半導体式等のガスセンサにないガス選択性、H2濃度1%計測)を行なうことを目標にしたものである。微弱、かつ空間に広がってしまうラマン散乱光を、Auメッキが内壁に形成された割りスリ-ブ内に閉じ込め、効率良く受光側ファイバに導波することで、H2ガス検出の高感度化に高いポテンシャルを有する小型(センサ部の直径、長さ:φ4.5mm、4cm)のファイバ型ガスセンサを製作した。今後は、割りスリ-ブ内の光学部品の最適構造設計により、入射レ-ザを完全に遮断し、高効率に発生したラマン散乱光のみを取得できる状態を実現して、本センサの有用性の検証を行なう。