熱画像装置を用いた放射率補正型デバイス発熱モニタの開発

研究課題

研究責任者	石井順太郎独立行政法人産業技術総合研究所, 計測標準研究部門, 室長
研究期間 (年度)	2011
概要	本研究は次世代の高集積化半導体デバイスやパワーエレクトロニクスデバイスの研究開発において鍵を握る、デバイス内の発熱モニタリング技術の可能性を検討することを目的とし、熱画像装置の放射温度測定適用で課題となる未知の放射率に関する新しい補正方式の適用検討を行った。温度測定精度に関しては薄膜熱電対を測定対象とした評価試験を実施、目標不確かさの 1°Cが達成されることを確認した。時間応答に関しては目標とする 10kHz 以上を達成する方法を検討、高速応答性を有する他の温度測定手法との組合せとして反射測温と組み合わせることで十分な応答速度が得られる見通しを得た。空間分解能に関しては評価用の専用デバイスを今後製作し評価する。