マイクロ自由曲面創製用超精密インプロセス加工計測装置の開発

研究課題

研究責任者	高偉東北大学, 工学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2011
概要	本研究では、申請者がこれまでに開発してきたダイヤモンド切削工具高速制御装置(FTC:Fast Too Control)に、高感度高剛性力センサを新たに組込むことによって、工具の変位と加工力を同時に計測できる超精密インプロセス加工計測装置(FS-FTC : Force Sensor-integrated FTC)を提案し、加工機上で基礎実験を行うことによって、次世代省エネ3Dプラットパネル・ディスプレイや高性能燃料電池などで必要とされる大面積マイクロ自由曲面金型を高精度、高能率に製造するための基盤加工計測技術の実現の可能性を検証する。