赤外線式ガスセンサのための傍熱型波長選択マイクロ光源

研究課題

研究責任者	佐々木実豊田工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授
研究期間 (年度)	2011
概要	赤外線式ガスセンサのための傍熱型波長選択マイクロ光源を実現するために、原理検証ではニクロム線であった熱源のマイクロヒータ化に取り組んだ。Si/SiO2/Si構造を持つウェハの表裏側からのSi垂直エッチングにより、ほぼ宙に浮いたマイクロヒータ上に出射スリットが配置された一体構造を製作した。熱放射の閉じ込めができる光学系となる。マイクロヒータと基板間の熱絶縁には、幅の細い機械的に弱いデザインが良いが、パッケージする際のダイシングに耐える剛性とのバランスが問題となった。デザイン修正を3回加えた。格子とスペーサも製作してアセンブリし、出射スペクトルを計測した。コントラストは低いものの、波長選択的なピークが示唆された。光源構造および出射スペクトルの改善、効率の評価は今後も進める。