デジタル画像相関法による次世代MEMS実装部のひずみ計測システムの開発

研究課題

研究責任者	池田徹京都大学, 工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2011
概要	さまざまな試行錯誤の結果、現在の汎用走査型電子顕微鏡の場合、画像精度の制限から高真空モードで計測を行うことが必要なことが分かった。寸法50μm 程度の直径のバンプ接合部をもつ三次元実装用の模擬試験片について計測を行い、その熱ひずみの分布取得に成功した。倍率的にはまだ十分に余裕があるため、10μm 直径のバンプを持つような試験片が試作できればすぐにでも計測可能である。また、解析における粗探索のアルゴリズムを改良して、1 枚の電子顕微鏡画像のひずみ解析時間を現有のPC ワークステーション(Intel XEON X5690)で107 秒にすることができた。非線形有限要素法解析についても金属間化合物などの物性値をナノインデンターで計測することにより、計測に一致する結果を得た。以上により、開発の目標には80%以上の到達を果たしたと考える。