高反応性大気圧プラズマ源の特性評価とガス処理への応用

研究課題

研究責任者	前山光明埼玉大学, 理工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2011
概要	プラズマの持つ高エネルギー性、高反応性を利用したガス処理、滅菌処理などの産業応用を目的として、大気圧下での大容積プラズマの生成と、高効率オゾン生成について研究を行った。その結果、(1)正極性の高繰り返しインパルス電圧とMHCDにより、大気圧下乾燥空気の状態で安定した放電を実現、(2)放電可能電圧範囲が8.5～13.0 kVと従来の直流電源を用いた場合の 7.0～9.0 kVに比べ拡大、(3)放電可能電圧範囲は狭くなるがMHCDを利用しなくとも一様な放電が大気圧下で可能、(4)MHCDと直流高電圧を利用した放電によるオゾン生成で、目標とした50kJ/g を越える 36kJ/gの生成効率を得た。