精密部品インプロセス検査のための高解像度三次元イメージング手法の開発

研究課題

研究責任者	臼杵深静岡大学, 若手グローバル研究リーダー育成拠点, 特任助教
研究期間 (年度)	2011
概要	精密部品の形状や欠陥をインプロセスで検査するために、高速かつ高解像度に三次元顕微観察する手法を提案し、提案手法の有効性を実験的に検討した。光学顕微鏡に三次元イメージング機器を導入することにより、高速三次元観察を可能とした。三次元イメージング機器としては、デジタルリフォーカスシステム(自作)、タイムオブフライトカメラ(本受託研究費で購入)を用いた。更に、結像光路のアクティブ制御によるサブピクセル超解像手法により機器仕様を上回る高解像度イメージングを実現した。具体的な結果として、500μmの測定範囲において5μmの空間分解能(測定精度)で全焦点画像を取得できた。この結果は、三次元イメージング機器における測定範囲と測定精度の比100を保持したまま顕微観察への適用を実現している点で、本課題の目標達成の可能性を示唆している。