固体の熱輸送性質を測定するための接触式スタンプ型センサの開発

研究課題

研究責任者	福永鷹信九州大学, 工学府, 技術職員
研究期間 (年度)	2011
概要	本研究は、固体の熱輸送性質を簡易的に測定できる接触式スタンプ型センサと測定法を開発することを目的としたものである。本研究申請時までに、本提案の測定が原理的に可能なことをシミュレーションにより明らかにしていたため、本研究の目標は測定精度に及ぼす試料の熱輸送性質やセンサの形状寸法の影響を明らかにするとともに、センサを試作して、測定の実証を行うことであった。そして、研究期間内の具体的成果については以下のとおりであった。 (1)MEMS技術を用いて円状の白金薄膜センサおよび測定器を作製することができた。 (2)測定試料としてアクリル樹脂、セラミックス、ステンレスの3種類の試料に対して測定実験を行なった結果、熱伝導率は誤差5%～15%程度、熱拡散率は誤差20%以下の精度で熱物性値を測定することが可能であった。