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非イオン化クラスタービーム技術を利用したSi深堀エッチング技術の実用化開発
研究課題
産学が連携した研究開発成果の展開
研究成果展開事業
研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP)
ハイリスク挑戦タイプ
企業責任者
岩谷産業株式会社
研究責任者
松尾 二郎
京都大学, 大学院工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)
2011 – 2013