大気圧プラズマを援用した低環境負荷型ナノ精度一貫加工装置の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開研究成果展開事業研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) ハイリスク挑戦タイプ

企業責任者	明昌機工株式会社
研究責任者	山村和也大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2011 – 2013