ヘテロ修飾構造を有するFePtナノドットパターンと超テラビット記録

研究課題

研究責任者	石尾俊二秋田大学, 大学院工学資源学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2011 – 2012
概要	超テラビット磁気記録を目指してFePt/FeCoドットパターンの研究を行った。まずFePt膜作製→急速加熱熱処理→リソグラフィー/イオンミリング→再熱処理からなるパターン作製プロセスを開発した。次いでFePtドット群について、ドットの結晶構造と磁気特性の相関を調べた。L10規則度と[001]配向性に優れたドットの反転磁場は50-60kOeであることを明らかにした。FePtドットにFeCoを積層したFePt/FeCoドットパターン(ドット直径:15～100nm、FePt厚:6nm、FeCo厚:1～2nm)を作製した。FePt/FeCoパターンの保磁力は約30kOeであり、FePtの保磁力50-60kOeより低下し、磁化反転プロセスは活性化体積の磁化反転―>磁壁移動によるドット磁化反転であると結論した。実用性を考慮し、FeCo層の最適化により保磁力を20kOe以下とし、また熱磁気書き込みに有効な温度特性を有するFePt/FeCoビットパターンの開発を継続する。