高クラーク数材料を用いた新規透明導電薄膜の研究開発

研究課題

研究責任者	山本伸一龍谷大学, 理工学部, 教授
研究期間 (年度)	2011 – 2012
概要	透明導電膜は、表示素子、太陽電池、タッチパネルなどに広く使用される電子材料である。現在は主にITO(インジウム・スズ酸化物)薄膜が実用化されているが、インジウムがレアメタルであることから、ITOの代替材料開発に関心が高まっている。ITO代替材料として、資源枯渇の問題のないMgを主成分とし、副成分を少量混合させることでブルサイト構造を作製し、高導電率薄膜を作製することができれば、環境負荷の低い電子デバイスとして、イノベーション創出の可能性が期待される。有機金属塗布熱分解法(MOD法)を用いて、省エネルギー、低コストで安定的にMgO系透明導電膜を製造することを試みた。作成したMgO-C系薄膜は、大気暴露によりMg(OH)2-C薄膜に変化することで透明化した。導電性は不十分であったが、さらに条件を詰めていけば、高透過率・高導電性薄膜形成の可能性がある。